2011
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Year of publication | 2011 |
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Subject | 2차적 스퍼터링 리소그라피를 이용한 3차원 나노구조체 및 그 제조방법 |
Name | 정희태, 전환진, 정현수 |
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Registration Date | 출원국:한국(출원번호 2011-0115057, 2011.11.7) |
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