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2011

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2차적 스퍼터링 리소그라피를 이용한 3차원 나노구조체 및 그 제조방법
Year of publication 2011
Subject 2차적 스퍼터링 리소그라피를 이용한 3차원 나노구조체 및 그 제조방법
Name 정희태, 전환진, 정현수
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Registration Date 출원국:한국(출원번호 2011-0115057, 2011.11.7)
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