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나노미터 또는 그 이하 사이즈의 패턴 형성방법
Year of publication 2005~2001
Subject 나노미터 또는 그 이하 사이즈의 패턴 형성방법
Name 정희태, 권기영, 이수림
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Registration Date 출원국: 한국(출원번호 2003-32514, 2003.5.22.)
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