2005~2001 포토리쏘그래피법과 드라이 에칭법을 이용한 탄소나노튜브 다층막 패턴의 제조방법
본문
- Year of publication
- 2005~2001
- Registration Number
- 출원국: 한국(출원번호 2004-21031, 2004.3.27.), 미국(출원번호 10/962,363, 2004.10.8.), 중국(출원번호 2004 10085905 X, 2004.10.25.)
- Status
- in press
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